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扫描电镜和透射电镜的工作原理
山东保蓝环保工程有限公司   2018-07-17 02:28:59
从相似点开始, 这两种设备都使用电子来获取样品的图像。他们的主要组成部分是相同的; 
1、电子源;
2、电磁和静电透镜控制电子束的形状和轨迹;
3、光阑。
所有这些组件都存在于高真空中。 
现在转向这两种设备的差异性。 扫描电镜(SEM)使用一组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子( 详细了解SEM中检测到的不同类型的电子 )。
而透射电镜(TEM)是使用透射电子,收集透过样品的电子。 因此,透射电镜(TEM)提供了样品的内部结构,如晶体结构,形态和应力状态信息,而扫描电镜(SEM)则提供了样品表面及其组成的信息。 
而且,这两种设备最明显的差别之一是它们可以达到的最佳空间分辨率; 扫描电镜(SEM)的分辨率被限制在?0.5nm,而随着最近在球差校正透射电镜(TEM)中的发展,已经报道了其空间分辨率甚至小于50pm。
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